质量流量计，质量流量控制器的概念 质量流量计，即Mass Flow Meter，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器，即Mass Flow Controller，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

2．质量流量计，质量流量控制器的流量单位 气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM(Standard Liter per Minute)来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。

 如果需要单位时间内流过的质量（如g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。

3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点

（1）直接测量气体的质量流量 热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。

（2）无可移动部分 本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。

（3）可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。

（4）测量控制的自动化 质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。

（5）精确地定量控制流量 质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。

（6）准确度高，重复性好 ，准确度可达+-1%F.S（full scale）重复性为＋-0.25%F.S（full scale）

（7）体积小巧，安装方便，操作简单

（8）技术先进，符合发展潮流

4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题

（1）被测气体需要清洁。 注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。

（2）一般产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算

5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合

一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。

6．不同气体的质量流量的换算 产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的质量流量计或质量流量控制器测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品，而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之，在确定所购产品的量程时，以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。

7. 质量流量计或质量流量控制器适用范围 有
很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPA；
可以适用于很多气体介质（包括一些腐蚀性的气体，如三氧化硼，三氯化硼，氯化氢，氟化氢等等），
有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~5sccm，最大流量范围可达0~120slpm。
流量控制范围是满程的2~100%（量程比为50：1），

在很多的领域得到广泛的应用。

8.部分常用单位 1000sccm等於1liter，30slpm=30liters(公升)， sccm:s=standardcc=cm的3次方m=minute(分鐘)，slpm:s=standardl=literp=perm=minute(分鐘)，Sccm：标准毫升/分 slpm：标准升/分

 9.标定的不同气体的换算方法 本气体质量流量计出厂通常以N2标定，如使用其他气体标定，请在订货时特别提出。